Agilent脉冲参数测验仪的运用特色及优势剖析

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发布时间:2022-08-29 05:15:39来源:华体会登陆入口 作者:华体会登录网址

  安捷伦科技的Agilent 4075和4076 DC/RF/脉冲参数测验仪,用来检定运用高档工艺技能(如65 nm技能节点)制作的器材。经过Agilent 4075和4076,半导体测验工程师能够一起丈量RF特色和DC特色,以满意当时体积日益缩小的多样化半导体器材需求,如65 nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅(SOI)晶体管和高介电常数(高k)器材。

  体积缩小和器材速度进步,日益需求在出产过程中完成新的参数测验功用,而曩昔只要在实验室中才需求这些功用。Agilent 4075和4076为准确检定新的器材结构供给了所需的灵活性,如超薄栅氧化物MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)或通讯运用中运用的高速半导体器材。经过先进的规划,Agilent 4075和4076支撑10-ns短脉冲式IV丈量,对热量或电荷反常活络的器材必需进行此类丈量,如高速逻辑运用中运用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外,Agilent 4076支撑直到1 fA的超低电流丈量功用。

  与整个4070系列相同,Agilent 4075和4076支撑300 mm SECS/GEM自动化协议,这些协议现已在国际各地的出产线中得到验证。SECS/GEM是半导体职业的规范,保证制作设备同享一起的界面和行为。

  现代超薄栅MOSFET简单遭到电子地道的影响。为检定其电容和电压(CV)行为特色,丈量频率必需超越几兆赫。可是,高频CV (HFCV)及完成检定必需的射频频率CV (RFCV)丈量技能之间彼此冲突。Agilent 4075和4076一起支撑HFCV (4294A)仪器和RFCV (ENA/PNA)仪器,使得用户能够挑选最佳办法,满意自己的工艺技能和出产测验需求。

  Agilent 4075和4076都把高速电容丈量单元(CMU)集成到测验头中。这一功用能够在1 kHz - 2 MHz频率规模内,对层间/层内氧化物十分快速地进行电容丈量,然后改进吞吐量,下降测验本钱。

  通讯运用和高速逻辑运用要求深化检定高速半导体器材的功用。Agilent 4075与4076皆支撑运用PNA进行RF的S参数测验功用,相对于现在市面上运用VNA的解决方案,以PNA为主的RF解决方案可供给更高的产出速度。

  比如SOI或高k等最新的先进技能需求超短的脉冲测验才干,以避免发生有害的热量或电荷活络效应。可是,出产测验体系的脉冲式丈量才干却只限于丈量微秒的规模。Agilent 4075与4076可供给短至10纳秒的超短脉冲式IV丈量才干,能有效地丈量SOI或高k晶体管等对热或电荷高度活络组件的特性。

  Agilent 4076还为出产测验供给了实验室测验功用。高档工艺一般要求在出产中准确丈量各种参数,如MOSFET低于门限的走漏电流和铜(Cu)金属Van der Paw电阻。这些丈量要求反常准确的电流和电压丈量分辨率,而此前只要实验室中才干供给这种分辨率。

  Agilent 4075和4076所有的RF、HFCV和超短脉冲式IV丈量功用都能够在整个新规划的直接对接接口上运用。这种直接对接的规划可经过自动化的探针卡替换机制,让运用者轻易地操控和改换探针卡,并且这种RF直接对接的方法也不会减少任何的DC针脚。

  比如丈量链接库和校准东西等操作简易、选用图形化运用者接口的软件皆支撑这些RF、HFCV和脉冲式IV丈量功用。

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